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HJT 硅片链式吸杂前清洗设备
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特点描述

高温工艺槽采用隔热腔结构，防止塑料高温形变；
传输轨道由紧固安装方式代替传统焊接安装方式；
采用线性开口，高气流、低压力干燥切水风刀。
A/B侧独立控制，独立工艺调试

规格书

技术性能

  • 产能>14400片/小时，210×105硅片；
  • 硅片采用16道传输；
  • 传输速度3.7m/min;
  • 碎片率<0.3‰;
  • 腐蚀量0.2g。

技术参数

清洗流程：Polish→DHF→DRY

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