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大面积多源共蒸团簇式蒸镀机
大面积多源共蒸团簇式蒸镀机
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大面积多源共蒸团簇式蒸镀机

特点描述

团簇式布局，搭载精密对位系统，工艺灵活多变；
钙钛矿各种材料共蒸程序内置，方便客户直接调用，
旋转升降温控基板，有效控温，均匀镀膜。

规格书

技术性能

  • 基板大小：300mm*300mm*3.2mm；
  • 基板温控：±1℃（控温精度）；
  • 坩埚大小：40cc;
  • 上片数目：10pcs；
  • 保养频率：一周;
  • 片间/片内均匀度<5%。

技术参数

  • 设备尺寸：3000mm*5000mm*2700mm

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