技术性能

• 设备产能>32000片/小时(每篮232片半片)(1.2GW@210半片、1GW@182半片)；
• 碎片率<0.3‰;
• 反射率<11%,单片绒面均匀性<1%,片间绒面均匀性<1%;
• 制绒主体良品率≥99.8%(排除原料片问题);
• 绒面需保证75%以上在目标金字塔尺寸范围内，如0.8-3um 、2-5um 、5-8um;
• 设 备Uptime: ≥ 92% ;
• 设备臭氧水浓度>50ppm。

技术参数

清洗流程： O3-Clean→SDE→PreCln→TEX→Post1→CP （ →Post2）→DHF→DRY