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TCO返工片清洗设备
特点描述
臭氧清洗工艺,臭氧浓度≥40ppm
全自动生产,工艺配方自由设置
全自动补加,一键洗槽配液;
规格书
技术性能
产能:≥4000片/小时(每篮116片整片,4篮/槽)
碎片率<0.5‰
设备Uptime:≥93%;
技术参数
清洗流程: O3-Clean→O3-Clean→DHF→DRY
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