特点描述

设备结构：包括两个传输腔，四个蒸镀工艺腔，mask分离更换腔，真空退火腔，工艺腔及上料腔配备手套箱。
设备功能：可用于制备全干法/叠层钙钛矿电池，共蒸制备钙钛矿无机盐、钙钛矿有机盐（FAI/MAI）、电子传输层、钝化层、金属电极层等材料。