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赛事投注

电池片硅片自动化设备

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空穴层/导电层PVD镀膜设备
空穴层/导电层PVD镀膜设备 - 图片 2

空穴层/导电层PVD镀膜设备

特点描述

立式旋转腔设计，减少设备长度，减少占地面积；
智能化工艺程序管理，实时数据记录；
适配于大面积玻璃衬底线性产线。

规格书

技术性能

  • 稼动率≥92%
  • 生产节拍：60s
  • 靶材利用率：≥30%(wt%) / ≥80%(wt%)
  • 破片率：0.1%
  • 片内片内/片间均匀度：＜5%@EE=10mm
  • 玻璃基板尺寸：1200mm(L)*600mm(W) 厚度：1.6mm-3.2mm

技术参数

设备尺寸：23000mm*5100mm*3500mm (含自动化)

其他产品

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