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TBC电池碱抛光清洗设备

特点描述

大产能设备，单次可处理6篮
分布式盘管结合V型匀流板组成快速平稳的布液系统
自补偿动态平衡废气排风系统，提高废气排风高效性
派单式手臂调度系统，实现生产工艺柔性化
工业热水机采用纯石英红外加热方式，确保无金属离子析出
高效过滤与初效过滤相结合，很好的保证了设备内的洁净度
高速稳定的机械手系统，负载≥100kg

规格书

技术性能

  • 16000片/小时（每篮116片整片，6篮/槽）
  • 碎片率：<0.3‰（硅片厚度≥110um）
  • 设备Uptime：≥98%

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