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HJT 硅片管式吸杂前清洗设备-MW级
HJT 硅片管式吸杂前清洗设备-MW级
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特点描述

外循环式进风与主动排风相结合的烘干系统；
臭氧水洗采用常压大流量混合，确保臭氧混合有效性；
冷/热水慢提拉工艺，更宽的工艺窗口；
高效过滤与初效过滤相结合，保证设备内更高的洁净度。

规格书

技术性能

  • 设备产能>19200片/小时(每篮232片半片)(800MW@210半片、600MW@182半片)；
  • 碎片率<0.3‰;
  • 反射率>40%,单片抛光均匀性<1%,片间抛光均匀性<1%;
  • 台 阶 宽 度 大 于 1 5 um ;
  • 设备Uptime:≥97%;
  • 设备臭 氧 水 浓 度 > 40 ppm ;
  • 设备产品良率>99.9%。

技术参数

清洗流程： O3-Clean→SDE→O3-Clean→DHF→DRY

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