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TOPCon电池去绕镀&RCA清洗设备
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特点描述

大产能设备，单次可处理6篮
分布式盘管结合V型匀流板组成快速平稳的布液系统
派单式手臂调度系统，实现生产工艺柔性化；
高效过滤与初效过滤相结合，很好的保证了设备内的洁净度
高速稳定的机械手系统，负载≥100Kg

规格书

技术性能

  • 产能：16000片/小时(每篮116片整片，6篮/槽)；
  • 碎片率<0.3‰（ 硅片厚度≥110um）
  • 设备Uptime:≥95%;
  • 设备产品良率>99.9%。

技术参数

清洗流程： Alkline→PreCln→HF→Post1→DHF→DRY

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